時(shí)間:2023年02月11日 作者:超低溫公司
近日,鵬力超低溫成功發(fā)貨一套大口徑1.5K溫區快速換樣低溫系統。該系統是國內首臺大口徑1.5K-Toploading低溫系統,為量子芯片等的低溫快速篩選提供良好的解決方案。
該系統利用自主研制的4K-GM制冷機作為冷源,通過(guò)氦氣閉循環(huán)預冷節流技術(shù),保證樣品溫度低于1.5K,無(wú)需額外的液氦或者液氮等消耗。為了滿(mǎn)足多芯片的高效測試,該系統還采用了靜態(tài)氣冷卻的Top-loading換樣結構,同時(shí)配置了100mm直徑的樣品腔,測試空間達到了φ100*300mm,相比常規的50mm的樣品腔,在性能基本一致的前提下,系統容積得到較大提升;為了降低GM制冷機振動(dòng)影響,該系統采用多重耦合減振,可實(shí)現低于±1μm的低振動(dòng)環(huán)境。
目前,鵬力超低溫研制的低溫制冷機及低溫系統已經(jīng)實(shí)現了從mK到77K溫區的全覆蓋,包括mK量級的稀釋制冷機,1.5K溫區的恒溫器、4K-GM制冷機、低溫強磁場(chǎng)綜合物性測量?jì)x(CPMS)、氦氣(再)液化裝置、氦氣純化裝置、氦氣循環(huán)冷卻系統、氖氦精制裝置等,并可基于客戶(hù)需求進(jìn)行淺度定制。